基本介绍 
 

  等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的    距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性 
 

  性能特点 
 

    
 

  技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
供电电源
 
 
    
 
AC220V（AC110V可选)
 
 
   
 
   
 
    
 
工作电流
 
 
    
 
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
 
 
   
 
   
 
    
 
射频电源功率
 
 
    
 
500W可调
 
 
   
 
   
 
    
 
射频频率
 
 
    
 
40kHz
 
 
   
 
   
 
    
 
耦合方式
 
 
    
 
电容耦合
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体容积
 
 
    
 
5L(内径 152mmX 深度 280mm)
 
 
   
 
   
 
    
 
载物规格
 
 
    
 
125mmX260mm
 
 
   
 
   
 
    
 
气体流量
 
 
    
 
0—50ml/min（其他量程可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
气体路数
 
 
    
 
2 路质量流量计+精密流量控制阀
 
 
   
 
   
 
    
 
过程控制
 
 
    
 
自动控制
 
 
   
 
   
 
    
 
清洗时间
 
 
    
 
手动开关
 
 
   
 
   
 
    
 
开盖方式
 
 
    
 
铰链侧开式法兰
 
 
   
 
   
 
    
 
真空室温度
 
 
    
 
小于65°C
 
 
   
 
   
 
    
 
外形尺寸
 
 
    
 
450x450x250mm
 
 
   
 
   
 
    
 
冷却方式
 
 
    
 
强制风冷
 
 
   
 
  
 
 
 
 

  使用说明 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
标配
 
 
    
 
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台
 
 
   
 
  
 
 
 
 

  采购须知