日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000基本介绍 
 

  可以不需要液氮进行－180℃～＋100℃ 的高低温真空探针测试。 
 
 
 
液体窒素不要！　冷？加温真空チャンバ
 
 
 
 
MJ-3000は、半導体材料等の各特性を測定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷凍機を実装した、小型軽量の冷？加温真空チャンバーです。液体窒素を用意する必要がなく、手軽に－180℃～＋100℃まで試料を温度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭載されていますので、真空中で自由に深針移動が可能です。
 
 
 
  
 
   
 
    
 
 
    
４深針の外部操作型ポジショナーを搭載し、大気開放せずに真空中で深針移動ができます。
 
   
 
   
 
    
 
 
    
従来の装置と違い、加熱ステージとパルスチューブ冷凍機 ※ が搭載されており、液体窒素を用意する必要がなく、長時間の作業でも酸欠（酸素欠乏症）の心配がありません。
 
   
 
   
 
    
 
 
    
試料を－180℃～＋100℃まで温度可変することができ、一定温度状態の試料測定が長時間可能となっています。
 
   
 
   
 
    
 
 
    
チャンバー上蓋はヒンジ開閉式で110°開きますので、試料へのアクセスがスムーズにできます。
 
   
 
   
 
    
 
 
    
ビューイングポート（回転式遮光蓋付属）が標準装備されており、光照射および顕微鏡を使用しての試料観測、探針移動、遮光に便利です。
 
   
 
  
 
 
 
 
※本装置搭載のパルスチューブ冷凍機は、従来型と違いコンプレッサーと一体型で省スペース、低振動、長寿命、低消費電力の冷凍機です。
 
 
日本阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000技术参数
 
  温度ステージ部 
   
 
  
 
   
 
   
 
    
温度精度（ステージ温度）
 
    
±１℃（ホールド状態）
 
   
 
   
 
    
振動
 
    
約２μｍ以下
 
   
 
   
 
    
材料
 
    
銅（レーデント＜黒＞）
 
   
 
   
 
    
寸法
 
    
□33mm（接地タイプ）
 
   
 
   
 
    
試料有効寸法
 
    
□25mm
 
   
 
   
 
    
温度範囲
 
    
－ 180℃～＋ 100℃（Max.）
 
   
 
   
 
    
センサー
 
    
PT100（4 線式）
 
   
 
   
 
    
ヒーター
 
    
セラミックスヒーター
 
   
 
   
 
    
試料押え
 
    
４個
 
   
 
  
 
 
 
  真空チャンバー部 
   
 
  
 
   
 
   
 
    
真空度
 
    
10 － 2 Pa 以上（真空ポンプに依存します）
 
   
 
   
 
    
ビューポート
 
    
石英ガラスφ 79 × t4mm（覗き有効径66 φ）
 
   
 
   
 
    
ポジショナーポート
 
    
外部操作型用：４個
 
   
 
   
 
    
予備端子ポート
 
    
1個
 
   
 
   
 
    
リークバルブポート
 
    
1/ ４"　スウェージロック：1 個
 
   
 
   
 
    
センサーポート
 
    
ICF34：１個
 
   
 
   
 
    
ヒーターポート
 
    
ICF34：１個
 
   
 
   
 
    
ゲージポート
 
    
NW25：１個
 
   
 
   
 
    
予備ポートえ
 
    
NW25：１個
 
   
 
   
 
    
真空引口
 
    
NW40：１個