日本Apollowave阿波罗微波高功率半导体探针台手动8英吋探针台α-300产品简介：12英寸及以下晶圆或芯片WAFER测试1探针台主机：α-3001.1适用：12英寸及以下晶圆或芯片1.2X轴：粗调行程：310mm粗调方式：自锁式推拉杆微调行程：25mm微调方式：千分尺控制控制分辨率：10um1.3Y轴：粗调行程：340mm粗调方式：自锁式推拉杆微调行程：25mm微调方式：千分尺控制控制分辨率：10um1.4Z轴：移动量：10mm粗调行程：5mm，精度：±10%以内微调行程：0.3mm，精度：±20%以内1.5θ轴：移动量：±8°以上1.6平行度：对载物台30um以内1.7尺寸：600（W）×600（D）×450（H）不含突出部1.8重量：约60kg1.9真空压小于-65kPa（用于晶圆吸附）1.10压缩空气：0.4-0.5MPa1.11使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）