M-SPIN 200 匀胶旋涂仪
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湖北省/武汉市
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武汉迈可诺科技有限公司

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主营产品:
匀胶机,等离子清洗机,湿法显影机,紫外臭氧清洗机,热压机,等离子去胶机,膜厚仪,纳米压印机,热板,光刻胶,折射率匹配液,显微镜浸油
- 产品参数 -
是否有现货
自动化程度 其它
空气源 其它
- 产品详情 -
M-SPIN 200 匀胶旋涂仪基本介绍
M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径最大为8英寸的晶圆片,或最大为6英寸 x 6英寸的衬底。M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径最大为8英寸的晶圆片,或最大为6英寸 x 6英寸的衬底。
M-SPIN 200 匀胶旋涂仪性能特点
它可使用分配臂全自动工作,分配移动托盘,可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制,和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块,该模块连接到柔性电缆,外接到一个19英寸外部控件上。
M-SPIN 200 匀胶旋涂仪技术参数

产品参数:

可处理衬底尺寸:直径最大为8英寸的晶圆片,或最大为6英寸 x 6英寸的衬底;

旋转速度:最高达9,000 rpm(以1 rpm步长可调);

固定晶圆片或衬底的装置:真空托盘;

处理时间:(1-999秒,可在1秒内调整);

加速度:1-5,000rmp/sec

其他参数:20个程序段,每个40

设备尺寸:约 480mmx 360mm x 416mm(不带盖子)

控制器尺寸:约 145mmx 100mm x 120mm

M-SPIN 200 匀胶旋涂仪使用说明

选配件:

适用各种尺寸大小的托盘

分配臂

M-SPIN 200 匀胶旋涂仪采购须知
 
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