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磁控溅射仪 全自动磁控溅射系统 那诺-马斯特
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- 999台
- 产地
- 美国
- 发货期
- 自买家付款之日起120天内发货
- 产品参数 -
| 商标 | Nano-master |
|---|---|
| 型号 | Nsc-4000（a） |
| 规格 | 台 |
| 包装 | 原厂 |
| 是否有现货 | 否 |
| 品牌 | 那诺-马斯特/nano-master |
| 适用范围 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药 |
| 分类 | 实验室仪器 |
| 类目 | 磁控溅射 |
| 型号 | Nsc-4000（a） |
| 规格 | 台 |
| 商标 | Nano-master |
| 包装 | 原厂 |
- 产品详情 -
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000（A）带有14”立方形不锈钢腔体，4个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：
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不锈钢腔体
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260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
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13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
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晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
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带观察视窗的腔门易于上下载片
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基于LabView软件的PC计算机控制
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带密码保护功能的多级访问控制
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完全的联锁功能
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预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
选配项：
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RF、DC溅射
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热蒸镀能力
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RF或DC偏压（1000V）
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样品台可加热到700°C
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膜厚监测仪
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基片的RF射频等离子清洗
应用：
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晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
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光学以及ITO涂覆
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带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
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带RF射频等离子放电的反应溅射
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