DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪基本介绍 
 
 
 
探针式表面轮廓仪
 
 
布鲁克探针式表面轮廓仪（又称“台阶仪”）历今四十载，积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量，到  的三维表面成像和薄膜应力测试，Dektak台阶仪适用面极广，为用户提供准确性高，重复性佳的测量结果。
 
 
 
 
 
在教育、科研领域和半导体制程控制，Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年，Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场越的测试工具，也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。
 
 
 
 
 
DektakXT
 
 
 
 
 
桌面型探针式表面轮廓仪
 
 
布鲁克DektakXT？台阶仪设计创新，实现了高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Dektak？体系技术创新的顶峰，加稳固了其行业中的地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能强大，操作简便易行，检测过程和也加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
高效率的保证
 
 
 
 
 
DektakXT的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的  率。
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
DektakXT仪器特性
 
 
的性能和4埃（<4 ？）的测量重复性
 
 
 
  
单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
 
  
的”智能化电子器件”实现了低噪声的新
 
 
 
 
高效率且易于使用
 
 
 
  
直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
 
  
的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
 
  
自对准的探针设计使用户可以轻而易举地换探针
 
 
 
 
探针式轮廓仪的全球
 
 
 
  
性能，物超所值
 
  
完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障
 
 
 
 
过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格，全新的DektakXT成为世界上台采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成测量和操作效率的台阶仪。
 
 
应用：
 
 
 
  
薄膜检验—确保高产量
 
  
DektakXT_Hybrid_
 
  
在半导体制造中，严密监控沉积和蚀刻速率的均匀性以及薄膜应力可以节省宝贵的时间和金钱。薄膜层的不均匀或应力过大，会导致良率下降和最终产品性能下降。 Dektak XT提供了快速，轻松地设置和运行自动多站点测量程序的能力，以验证整个晶圆表面的薄膜厚度，直至纳米级。 Dektak XT的的可重复性为工程师提供了准确的膜厚和应力测量值，以调整蚀刻和沉积过程以提高产量。
 
  
 
 
  
太阳痕量分析-降低制造成本
 
  
 
 
  
Dektak是的测针轮廓仪，可测量具有埃级重复性的敏感材料（高达1mm高）的大型垂直特征。 MEMS和微流体行业的研究人员可以依靠Dektak XT进行关键测量，以验证其零件是否符合规格。低力测量功能NLite +对敏感材料轻触即可准确测量垂直台阶和粗糙度，而不会损坏样品表面。
 
  
 
 
  
表面粗糙度验证-确保性能
 
  
Dektak XT非常适合常规验证精密加工零件的表面粗糙度，适用于各种行业，包括，航空和医疗设备。例如，整形外科植入物背面的羟基磷灰石涂层的粗糙度会影响其一旦植入后的粘合性能和。使用Dektak XT对粗糙表面进行快速分析，可以确认是否已达到所需的晶体生长以及植入物是否可以通过生产要求。使用具有通过/失败标准的Vision64数据库，质量保证人员可以轻松地识别要返工的植入物或验证植入物的质量。
 
 
 
 
 
 DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪性能特点 
 

    
 
 
 DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪技术参数 
 

    
 
 
 DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪使用说明 
 

    
 
 
 DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪采购须知