E1200卧式热反应系统基本介绍E1200卧式热反应系统性能特点产品简介E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程，以  的品质、极小的体积、   的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。工艺特性常压工艺LPCVD工艺PECVD工艺产品特性  可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；清洁的自动载舟系统；反应炉独立控制提供了  的小批量或复杂工艺能力；  的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；设备参数：反应炉使用晶片尺寸：150mm（  50片）或200mm（  25片）加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；温控范围：200℃～1300℃；可处理工艺气体种类：H2、Ar、N2O、N2、SiH4、NH3、B2H6、PH3、SiH2Cl2；系统总功率：55kW电源供给：400V.80A；压缩空气：600～1000kPa；冷却水流量：50～70LPM排气能力：400m3/HE1200卧式热反应系统技术参数E1200卧式热反应系统使用说明E1200卧式热反应系统采购须知