苏州普乐斯箱式等离子清洗机 基本介绍 
 
 
 
特殊电极、气路设计，均匀性好
 
 
平板式、滚轮式载具平台（可选）
 
 
适用半导体封装引线框架的批量处理
 
 
 
 苏州普乐斯箱式等离子清洗机 性能特点 
 
 
 
触摸屏操作界面
 
 
数字及图标多重工艺参数实时显示
 
 
三色灯异常报警功能
 
 
 
 苏州普乐斯箱式等离子清洗机 技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
型号
 
 
    
 
VPC-500F4
 
 
   
 
   
 
    
 
控制系统
 
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
全自动控制（自动/手动切换）
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
 
 
 
    
 
PLC（标配）/PC（可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
操作系统
 
 
    
 
Windows 10
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
触摸屏
 
 
    
 
7寸
 
 
   
 
   
 
    
 
整机规格
 
 
    
 
尺寸
 
 
    
 
W1150×D1400×H1720mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体
 
 
    
 
尺寸
 
 
    
 
 W500×D486×H520mm
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
材质
 
 
    
 
铝合金（标配）/不锈钢（可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
电极
 
 
    
 
结构尺寸
 
 
    
 
组合柜式， W398×D394×H425mm
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
分隔数量
 
 
    
 
4个料盒
 
 
   
 
   
 
    
 
托架
 
 
    
 
材质
 
 
    
 
铝合金（标配）/不锈钢（可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
 
 
 
    
 
形状
 
 
    
 
平板式/滚轮式（可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
真空计
 
 
    
 
皮拉尼式真空计
 
 
    
 
1个
 
 
   
 
   
 
    
 
流量计
 
 
    
 
MFC质量流量控制器
 
 
    
 
2个；Ar、N2、H2（可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
真空泵
 
 
    
 
机械油式旋片泵
 
 
    
 
1套
 
 
   
 
   
 
    
 
发生器
 
 
    
 
中频/射频
 
 
    
 
40KHz，0~1000W
 
 
    
 
13.56MHz，0~500W
 
 
   
 
   
 
    
 
额定功率
 
 
    
 
整机峰值功率
 
 
    
 
5KW
 
 
   
 
   
 
    
 
机台供电
 
 
    
 
三相五线式
 
 
    
 
AC-380V
 
 
   
 
   
 
    
 
选购品
 
 
    
 
干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵（泵组）、托架、温度传感器、H2  阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 苏州普乐斯箱式等离子清洗机 使用说明 
 
 
 
自动/手动操咋作模式切换
 
 
可存储多套工艺配方
 
 
远程操控，数据导出（可选）
 
 
 
 苏州普乐斯箱式等离子清洗机 采购须知