PTL-S系列等离子系统是小型真空等离子设备，主要根据不同的应用领域可提供不同频率、不同腔体大小、不同电极结构的系统配置。用于科研实验、教学演示、产品测试、小批量生产等领域，适合于大学实验室、科研院所、企业研发部门等。体积紧凑，功能配置齐全。PTL-S系列等离子系统主要应用于以下领域：·生物技术·电子技术·精密工程·研究和开发·半导体技术·小批量生产·塑料技术·医疗技术·微系统技术·太阳能电池技术·纺织技术基本设备腔室容积：2L、5L、10L、20L可选供电电源：220V发生器频率：40kHz:功率0-1000W；13.56MHz:0-600W所有发生器均为0-100%无级可调型真空腔室·圆形不锈钢腔体·矩形铝合金腔体·圆形石英玻璃腔体工艺气源质量流量控制器或针阀流量计两路或三路工艺气体内置承载件产品托盘、石英玻璃舟皿、氧化铝板、石英玻璃隔板电极单层或多层内置或外置型感性或容性耦合电极控制系统PLC+人机界面压力测量控制采用PID压力控制系统真空泵按需配置