产品应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及 转化制 、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。产品特点:1.垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子环境 均匀。2.微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运 压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。技术参数:型号/modelWBMW-DLZ3可加热材料非易燃易爆的任何材料微波频率2.45GHZ±50MHz加热方式纯微波加热最大功率/KW3(功率可调)最高工作温度/℃1200长期工作温度/℃≤1100温度测试元件微波场专用传感器/红外测温可选控温精度/℃±2(微波场专用传感器)石英管尺寸(外径/内经X长度)/mmφ102/φ92x1000真空系统配置(可选)简单机械泵抽真空和不锈钢法兰;10-1Pa真空用 机械泵及真空计;10-2Pa真空用 机械泵、扩散泵及真空计;10-3Pa真空用 机械泵、分子泵及真空计;升温速率(标配)0~1000℃/min可任意设定,可编程、分段加热外型尺寸(长x宽x高)/mm1000´750´1830微波泄漏量/mW/㎝≤0.4提供相关配件高温手套×1、中文说明书×1保质期整机免费保修1年巨源微波4KW井式炉,立式管式炉适用烧结材料:粉末冶金、硬磁、软磁、金属磁、结构陶瓷、压敏电阻、热敏电阻、压电陶瓷、微波介质陶瓷、蜂窝陶瓷、电瓷、日用陶瓷、炭素材料、催化剂、高纯氧化铝、氧化镁、氧化锌、氧化锆、 氧化铝、 氧化锆、非金属单质等各种精细制品的烧结实验,各种粉体材料如LED、三基色、长余辉稀土发光材料、电池材料( 酸锂、锰酸锂、三元素、 亚铁锂、 氧化镍等)、各种陶瓷色料、釉料、无机颜料、钛酸 、钛酸 、钛酸 、锆钛酸 、金属碳化物、铁合金氮化物、金刚石氧化、石墨还原的实验工艺摸索。