全自动匀胶机基本介绍 
 
 
 
全自动匀胶机
 产品介绍：
 1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。
 
 
2）传动方式通过导轨丝杆传动。
 
 
3）主轴使用高速直流无刷电机，带数字显示，精确控制转速。
 
 
4）自主设计开发薄膜式的喷胶泵，出胶稳定，自带回吸，保证了定量滴胶，可节省光刻胶用量。
 
 
5）效率高，双轴运动方式，上料与下料单独控制，采用双加热盘，降低等待时间。
 
 
6）设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动滴胶转换为手动滴胶。
 
 
7）热板控温方式为可控硅，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便硅片烘烤。
  
 
 
 
 全自动匀胶机性能特点 
 
 
 
1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。
 
 
2）传动方式通过导轨丝杆传动。
 
 
3）主轴使用高速直流无刷电机，带数字显示，精确控制转速。
 
 
4）自主设计开发薄膜式的喷胶泵，出胶稳定，自带回吸，保证了定量滴胶，可节省光刻胶用量。
 
 
5）效率高，双轴运动方式，上料与下料单独控制，采用双加热盘，降低等待时间。
 
 
6）设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动滴胶转换为手动滴胶。
 
 
7）热板控温方式为可控硅，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便硅片烘烤。
 
 
 
 
 
 
 全自动匀胶机技术参数 
 
 
 

                  最高转速                       6000RPM
 
 
                 转速  度                    ≤1-4%RPM
 
 
     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       
 
 
                 滴胶头位置                 ≤0.2mm
 
 
 
 全自动匀胶机使用说明 
 

  该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为单轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。 
 
 
 全自动匀胶机采购须知 
 

  该设备为全自动上下料匀胶设备，主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为单轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。