美国AALBORG气体质量流量计_气体流量计aalborg_盛霞供/美国Aalborg,Aalborg气体质量流量计,Aalborg控制器美国AalborgInstruments&Controls,Inc成立于1972年，是世界上  的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。产品特点：    、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。设计特点：－刚性金属结构－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm－最大压力500psig（34.5Bar）－泄漏率1＊10-7氦气－NIST系统标定可追踪的证明－可倾斜的LCD读表－0-5Vdc或4-20mA信号输出－电路保护－可用作便携式的设备－0到100％比例显示－可配备流量计算机精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。重复性：±0.5％满量程回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒温度系数：0.15％满量程／℃压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）输出信号：0-5Vdc，  1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻传感器输出：＋12Vdc；  200Ω。＋24Vdc可选时间恒量：800ms气体压力：  1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR?或1／8"卡套可选（GFC17）GFC47：3／8"卡套螺纹GFC57：3／8"卡套螺纹GFC67：1／2"卡套螺纹GFC77：3／4"卡套螺纹VCR?或3／4"卡套可选（GFC77）‘’公司名称：上海盛霞光电科技有限公司固定电话：021-32190091在线QQ：1849713424联系方式：18964352848公司邮箱:company@公司官网：