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璟丰JFL H/L U/R 高速高精单轴直线电机模组 技术参数 JFL 系列 H/L U/R单轴直线模组 有效行程 : Max1000mm 光栅分辨率 : 5um-10nm 重复定位精度 : H±0.5um、L±10nm 最大运行速度 : 1m/s-5m/s 最大加速度 : 2G-5G
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