氧化锌（ZnO）靶材
 
氧化锌（ZnO）靶材作为一种高性能的磁控溅射靶材材料，在科学研究和工业应用中占据着重要地位。氧化锌是一种白色粉末，属于二元金属氧化物，具有显著的化学稳定性和多功能性质。以下是对氧化锌靶材的基本介绍、物理性能及其在行业中的应用优势的详细阐述。我司深耕靶材领域十年，专注技术研发与生产，铸就行业精品。公司生产氧化物靶材材料如下：
 
 
 
 
  
 
   
 
OXIDES 氧化物
 
 
  
 
  
 
   
 
Aluminum Oxide (Al2O3)
 
 
   
 
Magnesium Oxide (MgO)
 
 
  
 
  
 
   
 
Antimony Oxide (Sb2O3)
 
 
   
 
Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Barium Titanate (BaTiO3)
 
 
   
 
Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Bismuth Oxide (Bi2O3)
 
 
   
 
Molybdenum Oxide (MoO3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Bismuth Titanate (Bi2Ti4O11)
 
 
   
 
Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4)
 
 
  
 
  
 
   
 
Cerium Oxide (CeO2)
 
 
   
 
Nickel-Cobalt Oxide（NiCoO2）
 
 
  
 
  
 
   
 
Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4)
 
 
   
 
Niobium Pentoxide (Nb2O5)
 
 
  
 
  
 
   
 
Chromium Oxide (Cr2O3)
 
 
   
 
Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3
 
 
  
 
  
 
   
 
Chromium Oxide (Eu doped)
 
 
   
 
Rare Earth Oxides (La2O3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Gallium Oxide (Ga2O3)
 
 
   
 
Silicon Dioxide (SiO2)
 
 
  
 
  
 
   
 
Germanium Oxide (GeO3)
 
 
   
 
Silicon Monoxide (SiO)
 
 
  
 
  
 
   
 
Hafnium Oxide (HfO2)
 
 
   
 
Tantalum Pentoxide (Ta2O5)
 
 
  
 
  
 
   
 
Indium Oxide (In2O3)
 
 
   
 
Tin Oxide (SnO2)
 
 
  
 
  
 
   
 
Indium-Tin Oxide (ITO)
 
 
   
 
Titanium Dioxide (TiO2)
 
 
  
 
  
 
   
 
Iron Oxide (Fe2O3)
 
 
   
 
Tungsten Oxide (WO3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Lanthanum Oxide(La2O3)
 
 
   
 
Yttrium Oxide (Y2O3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Lead Titanate(PbTiO3)
 
 
   
 
Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12)
 
 
  
 
  
 
   
 
Lead Zirconate (ZrPbO3)
 
 
   
 
Zinc Oxide (ZnO)
 
 
  
 
  
 
   
 
Lithium Niobate (LiNbO3)
 
 
   
 
Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3)
 
 
  
 
  
 
   
 
Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2)
 
 
   
 
Zirconium Oxide (ZrO2)
 
 
  
 
 
 
 
1、氧化锌靶材以其高纯度和化学稳定性著称，能够在极端环境下保持化学组成不变，这是高质量薄膜制备的基础。通常，氧化锌靶材的纯度要求  ，例如99.99%或  ，因为杂质的存在会影响最终薄膜的电学和光学性质。高纯度原料的选用是保证最终靶材质量的首要步骤。
 
2、在物理性能方面，氧化锌靶材的密度约为5.6g/cm3，熔点高达1975°C，沸点为2360°C。其分子式为OZn，分子量为81.408，具有  的理化性质。氧化锌是一种难溶于水的物质，但可以溶于酸和强碱，表现出两性氧化物的特性。在空气中，氧化锌会吸收二氧化碳和水，生成碳酸锌而呈现黄色，加热时变黄，冷却后又恢复白色。
 
3、氧化锌靶材之所以能在磁控溅射技术中得到广泛应用，主要得益于其  的物理特性。首先，氧化锌靶材具有良好的晶格结构稳定性，这保证了在溅射或蒸发过程中能够稳定地提供原子。其次，较高的热导率使得氧化锌在热处理过程中能够有效地分散热量，减少热应力，这对于保持靶材结构的完整性至关重要。再者，氧化锌作为n型半导体，具有宽带隙和高电子迁移率，使其在制造高效率半导体器件中具有显著优势。此外，氧化锌还展现出  的透明导电性，能同时传递光线和电流，这一特性使其在液晶显示器和太阳能电池领域具有重要应用。
 
4、在磁控溅射过程中，氧化锌靶材能够提供  且均匀的材料源，确保在基底上形成的薄膜具有优异的质量和一致性。选择氧化锌作为靶材，主要是基于它的  化学稳定性和  的物理特性，这些特性使得它在制造过程中能够承受高能量的沉积环境，同时保持其化学纯度和结构完整性。
 
5、氧化锌靶材在多个行业中具有广泛的应用优势。在光学显示技术领域，氧化锌靶材用于制造透明导电膜，提高液晶显示器（LCD）和有机发光二极管（OLED）屏幕的清晰度和响应速度。在LED照明技术中，氧化锌靶材因其优异的光学特性得到广泛应用，特别是在提高光效和色温调节方面。在光伏材料领域，氧化锌靶材作为半导体材料使用，增强了太阳能电池的光吸收能力和转换效率。此外，氧化锌靶材还被用于制造气体传感器和生物传感器，在环境监测和医疗健康领域显示出  的潜力。
 
6、在制造过程中，氧化锌靶材需要经过多个关键步骤，包括原料的预处理、粉末的合成、粉末成型、烧结以及退火处理等。这些步骤对于获得高质量、高性能的靶材至关重要。特别是烧结过程，需要在高温下进行，以增强靶材的结构密实度和机械强度。同时，烧结温度和时间的精确控制对最终产品的质量至关重要。
 
总的来说，氧化锌靶材以其高纯度、高化学稳定性、  的物理特性以及广泛的应用优势，在磁控溅射技术中发挥着重要作用。随着科学技术的不断进步和工业应用的不断拓展，氧化锌靶材的应用前景将 加广阔。