TCWAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）温度范围：低温：-150to700°C（硅基胶粘剂）高度：-150to1,200°C（焊接设计）热电偶选型：●TypeK(精度级别±1.1°Cor0.4%)，温度范围-270to1,372°C●TypeN(精度级别±1.1°Cor0.4%)，温度范围-270to1,300°C●TypeE(精度级别±1.0°Cor0.4%)，温度范围-270to1,000°C●TypeT(精度级别±0.5°Cor0.4%)，温度范围-270to400°C●TypeR/S(精度级别±1.5°Cor0.25%)，温度范围-50to1,768°C晶圆材质：硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。主要规格：4寸，6寸，8寸，12寸扩展线：可选绝缘层材质，接头类型。密封的扁平电缆，可在大气中打到10-7托。长度由客户选传感器引线：长达40英尺–可定制,被覆材质：石英陶瓷纤维TEF绝缘材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺线规：20AWG–40AWGa）主要型号有k/t/r(根据测温范围以及精度要求选型)k型适合：0°c-600°c，精度级别为±1.1°cor±0.4%t型适合：200°c以下，精度级别为±0.5°cor±0.4%r型适合：0°c-1100°c，精度级别为0.1%b)产品主要规格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸c)温接点可生产1~24点（但硅片越小测温点尽量减少，因为焊点需要打孔存在应力，另外需要排线，测温点越多难度越高）d)使用环境为普通或者真空环境e）晶圆材质：硅片或蓝宝石衬底片