Zeiss蔡司电子显微镜主动隔振台-至一科技
 
Zeiss蔡司扫描电子显微镜主动隔振台，Zeiss蔡司透射电子显微镜主动减震台
 
ArisMD主动隔振台/主动减震台
 
Dimension
 
270x230x75/Per ArisMD300 Isolator
 
Load Capacity (kg)
 
100～300Kg/Per ArisMD300 Isolator
 
Actuator Force
 
Vertical: 80 N; Horizontal 40 N
 
Active Isolation Range
 
0.5 – 100 Hz
 
Architecture
 
MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure
 
Degrees of Freedom
 
All 6 degree for System
 
Vibration Isolation Performance
 
~8db gain on 1Hz
 
~20db gain on 2Hz
 
Settling time
 
≤0.1 sec
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
优势1：致动器力：垂直：80N；水平：40N；致动器行程：无限制200 μm（p-p），可适用于震动级别较高的环境
 
优势2:结构紧凑，安装简易，性能高，成本低
 
减震隔离模块规格尺寸:230x270x75mm，基于设备重心高度的考虑和空气流动对设备产生谐振的因素，隔震模块高度应尽可能做小
 
优势3:实时诊断工具：每个模块内置实时2通道示波器、实时2通道频谱分析仪；客户端Web服务器可测量X、Y、Z三轴方向的实时震动，分析系统隔振效果
 
优势4:实时性能调整：全自由度实时自适应控制，客户端Web服务器可调节系统性能，适应场地振动变化；远程访问，完全远程服务可用于系统安装支持以及维修服务
 
优势5:安装要求：直接集成到设备底部框架，无需使用金属钢板，无需抬高设备的重心，安装成本低，安装时间短。