Zeiss蔡司电子显微镜主动隔振台-至一科技Zeiss蔡司扫描电子显微镜主动隔振台，Zeiss蔡司透射电子显微镜主动减震台ArisMD主动隔振台/主动减震台Dimension270x230x75/PerArisMD300IsolatorLoadCapacity(kg)100～300Kg/PerArisMD300IsolatorActuatorForceVertical:80N;Horizontal40NActiveIsolationRange0.5–100HzArchitectureMVIS-Multi-layerVibrationIsolationStructureDegreesofFreedomAll6degreeforSystemVibrationIsolationPerformance~8dbgainon1Hz~20dbgainon2HzSettlingtime≤0.1sec优势1：致动器力：垂直：80N；水平：40N；致动器行程：无限制200μm（p-p），可适用于震动级别较高的环境优势2:结构紧凑，安装简易，性能高，成本低减震隔离模块规格尺寸:230x270x75mm，基于设备重心高度的考虑和空气流动对设备产生谐振的因素，隔震模块高度应尽可能做小优势3:实时诊断工具：每个模块内置实时2通道示波器、实时2通道频谱分析仪；客户端Web服务器可测量X、Y、Z三轴方向的实时震动，分析系统隔振效果优势4:实时性能调整：全自由度实时自适应控制，客户端Web服务器可调节系统性能，适应场地振动变化；远程访问，完全远程服务可用于系统安装支持以及维修服务优势5:安装要求：直接集成到设备底部框架，无需使用金属钢板，无需抬高设备的重心，安装成本低，安装时间短。