结构特点
 
真空腔体：整体结构由炉壳、炉门、炉门锁紧机构、炉体支架等组成，炉壳、炉门为双层夹套冷壁结构。外筒材料为碳钢（经喷涂防锈处理）、内筒为不锈钢，炉门采用双层球形封头与圆形法兰焊接而成，法兰上装有O形密封圈，采用气缸自动锁死关门结构。工件可由炉门打开装入和取出，中部设置加热室主体及电极和分子泵的抽气口，预留电极、热电偶、循环水接口，双层夹壁通冷却水进行冷却。
 
加热室：由加热元件、隔热屏、料台组成。保温采用2层高温钼、3层不锈钢（310S）组成的复合保温层。加热元件采用钼镧合金，360度环形均布，有利于保温工作区温度均匀性。采用特殊设计的陶瓷绝缘件，可避由金属蒸汽挥发导致的短路；加热电源通过铜排、水冷电极与发热元件相连。炉床采用高温钼，立柱采用310S耐热不锈钢。
 
真空系统：设备选用三级真空系统，由一台KN500型扩散泵、一台ZJP-300型罗茨增压泵、1台BSV175型前级泵和一台BSV24维持泵组成。整套真空系统具有抽速大、效率高等特点。可以保证实现真空炉的冷、热态真空度指标。
 
真空系统分为低真空系统和高真空系统两个阶段。采用1高2低测量，真空规管具有抗氧化性强、不易污染的功能。真空获得可通过手动控制和自动控制来实现。真空系统运行时具备互锁功能，确保设备稳定。