产品介绍

MX61L

产品特点：

半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜

•大型载物台搭载：300mm晶圆全面检查（MX61L）

•采用高NA的透射光聚光镜，图像 锐利

•多种观察方式多种照明方式多种附件以满足不同应用要求

•反射光照明

型号

MX61L型显微镜

光学系统

UIS2光学系统（无限远校正光学系统）

显微镜镜体

射光照明（F.N.26.5）

12V100W卤素灯泡（预定心型）明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配），转换使用

内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开）

观测方法

①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。

观察镜筒

超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N.26.5）：MX-SWETTR型

其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒

超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N.26.5）：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置）

换镜转盘

电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型

载物台

MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm

原装日本中央精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。

带12寸晶圆载物台板。

内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9　50/60Hz

能耗

体积/重量

体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm

重量：约51kg（载物台约重31kg）