200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L基本介绍 
 
 
  
 
 
 200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L性能特点 
 
 
 
200KHZ高频超声波清洗机洗晶圆、硅片、芯片应用
 
 
晶圆是由硅锭切割而成的圆形单个硅片，经过抛光后变得无瑕，甚至可以当成镜子。作为高科技行业半导体制造的原材料，要求晶圆表面洁净度高，清洗达到精密清洗级别。
 
 
       切割出来的晶圆在加工、成形及抛光处理过程中因与各种有机物、粒子和金属接触而产生的污染物，传统的清洗方法很难清除其中的污垢。超声波清洗机能够将振动波传导到液体中，使得液体能够进入这些难以到达的区域，并通过微小气泡的破裂和流动的冲击力，将污垢清洗出来，保证晶圆的完整性和洁净度。
 
 
       清洗前处理：在进行晶圆清洗前，首先需要对晶圆进行表面检查，了解其表面状况，包括油脂、颗粒、化学污染等情况，以便选择合适的清洗液和清洗参数。
 
 
       清洗过程：将待清洗的晶圆放置在超声波清洗槽中，加入适量的清洗剂和清水。开启超声波清洗设备，通过超声波振动产生的高频压力波，将晶圆表面的颗粒、油污等污垢清除。
 
 
       清洗后处理：清洗完成后，将晶圆取出，进行清水冲洗，确保清洗液残留物清除，然后进行干燥和保养处理。
 
 
       实际效果：经过超声波清洗后，晶圆表面清洁度显著提高，无残留杂质，保证了半导体器件的正常工作。
 
 
设备选型
 
 
    实验室晶圆清洗台式超声波清洗机，云奕有单频、双频、多频的清洗设备选择。可以满足粗洗到精洗的过程，小批量实验的清洗，保证了晶圆表面的高清洁度。晶圆厂的大批量清洗，可以选择自动化程度高的超声波清洗线，从粗洗到精洗到烘干清洗完成的生产线，避免了二次的污染。
 
 
 
  
 
   
 
    
 
   
 
   
 
    
型号：YLS0603-200
 
    
内槽尺寸(mm)：240x135x100
 
   
 
   
 
    
容量：3.2L
 
    
外形尺寸(mm)：265x165x270
 
   
 
   
 
    
频率：200KHZ
 
    
包装尺寸(mm)：350x245x350
 
   
 
   
 
    
超声波功率：0-150W
 
    
时间控制：1-9999秒
 
   
 
   
 
    
加热功率：300W
 
    
温度控制：20-80°C
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L技术参数 
 
 
 
200KHZ 【3.2L-30L容量】规格参数
 
 
 
  
 
   
 
    
型号
 
    
振头
 
    
容量
 
    
内槽尺寸mm
 
    
整机尺寸mm
 
    
频率
 
    
超声功率
 
    
加热功率
 
    
温度
 
    
时间
 
   
 
   
 
    
YLS0603-200
 
    
6个
 
    
3.2L
 
    
240x135x100
 
    
265x165x280
 
    
200KHZ
 
    
150W
 
    
300
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS0605-200
 
    
6个
 
    
4.8L
 
    
240x135x150
 
    
265x165x330
 
    
200KHZ
 
    
150W
 
    
300
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS0804-200
 
    
8个
 
    
4.5L
 
    
300x150x100
 
    
325x175x280
 
    
200KHZ
 
    
200W
 
    
450
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS0806-200
 
    
8个
 
    
6.5L
 
    
300x150x150
 
    
325x175x330
 
    
200KHZ
 
    
200W
 
    
450
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS1610-200
 
    
16个
 
    
10L
 
    
300x240x150
 
    
325x265x330
 
    
200KHZ
 
    
400W
 
    
600
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS1614-200
 
    
16个
 
    
14L
 
    
300x240x200
 
    
325x265x380
 
    
200KHZ
 
    
400W
 
    
600
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS2015-200
 
    
20个
 
    
15L
 
    
330x300x150
 
    
355x325x330
 
    
200KHZ
 
    
500W
 
    
1000
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS2019-200
 
    
20个
 
    
19L
 
    
330x300x200
 
    
355x325x380
 
    
200KHZ
 
    
500W
 
    
1000
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS3222-200
 
    
32个
 
    
22L
 
    
500x300x150
 
    
530x330x335
 
    
200KHZ
 
    
800W
 
    
1000
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
   
 
    
YLS3230-200
 
    
32个
 
    
30L
 
    
500x300x200
 
    
530x330x385
 
    
200KHZ
 
    
800W
 
    
1000
 
    
20-80℃
 
    
1-9999秒
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L使用说明 
 
 
  
 
 
  
 
 
 200KHZ云奕芯片超声波清洗机洗晶圆硅片3.2L采购须知