工厂出售NidekFT-17晶片平坦/翘曲度测量仪基本介绍Nidek高精密平面度检测仪,适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。在电脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。此外，它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。工厂出售NidekFT-17晶片平坦/翘曲度测量仪性能特点Nidek高精密平面度检测仪,适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。在电脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。工厂出售NidekFT-17晶片平坦/翘曲度测量仪技术参数FT-17SeriesFT-900Series无解析无显示带解析带解析（V2规格）无解析无显示带解析带解析（V2规格）测定方法光波干涉方式（斜入射）光源半导体激光（655nm、3mW）He-Ne激光（632.3A、5mW）样本尺寸直径130mm以下（平坦度测定100mm以下）直径200mm以下样本厚度2000um以下（根据测量承载台不同，最大可达10mm），其他厚度需客户另行协商样本种类Wafer（Si、化合物、酸化物、玻璃）、金属片、硬盘（铝、玻璃）等镜面和非镜面（反射率低的非镜面不可测试）样本倾斜角度垂直方向倾斜8度垂直或垂直方向倾斜8度干涉计设定敏感度1、2、3、4、5u/纹理（下底面基准时只有1、2um/纹理，且厚度1mm以上时1um/纹理）测定范围纹理敏感度30倍（根据纹理状况以及测试镜头倍率关系，有时不能达到30倍）摄影镜头倍率3倍以上显示分解能0.01um0.01um重复精度Repeatability:1б0.02S＋0.02M（um）条件：样本设定后连续测试S：纹理敏感度M：测定值0.02S＋0.02M（um）条件：样本设定后连续测试S：纹理敏感度M：测定值工厂出售NidekFT-17晶片平坦/翘曲度测量仪使用说明测试项目吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID非吸附：BOW、SORI、整体应力、局部应力可测试晶片种类切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等