基本介绍 
 

  小型实验室精密刻蚀溅射仪器郑州科探KT-Z1650PVD，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。 
 

  性能特点 
 
 
 
产品特点：
 
 
     ？ 彩色触摸屏：数据输入简单快速
 
 
     ？ 通过触摸屏中直观检测数据和曲线；历史页面可显示历史涂层信息。
 
 
     ？ 可控镀膜速率，可得到精细的晶粒结构
 
 
     ？ 可手动或自动，根据时间或根据厚度进行溅射
 
 
 ？ 样品台换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
 
 

  技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射
 
 
    
 
直流溅射
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 

  使用说明 
 

  仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。 
 

  采购须知 
 
 
 
公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。