基本介绍组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Tor.高低温真空探针台应用：可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空  等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。性能特点迷你型真空高低温探针台KT-0904T-RL高温400℃低温-196℃测试光电材料气敏湿敏材料等配真空4探针移动精度5微米漏电噪声10pA可选配光纤接口真空接口数字源表光学减震台等。。。。。。技术参数真空腔体类型加热型350℃或者加热制冷型室温到350℃室温到-190℃腔体材质304不锈钢腔体内尺寸φ90x40mm腔体上视窗尺寸Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）腔体抽气口KF16腔体进气口公制3mm6mm气管接头英制1/8mm1/4mm气管接头可选腔体出气口公制3mm6mm气管接头英制1/8mm1/4mm气管接头可选腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa（5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质304不锈钢样品台尺寸26X26mm样品台-视窗距离30mm（可选凹视窗间距15mm）样品台测温传感器  PT100铂电阻样品台温度室温到350℃（可选高低温样品台高温350℃低温-190℃）样品台测温误差±0.2℃样品台变温速率高温10℃/min低温5℃/min   值温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控＋自整定（可选30段编程控温）温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100热电阻（可选KSB型热电偶）温控输出直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）辅助功能温度数据采集并导出实时温度曲线＋历史温度曲线探针电信号接头配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA接头香蕉插头线长1.2米电学性能绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V电流噪声≤10pA探针数量4探针（可定做6探针）探针材质镀金钨针探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程12mm±6mmX轴控制精度≤5μmY轴移动行程12mm±6mmY轴控制精度≤5μmZ轴移动行程12mm±6mmZ轴控制精度≤5μm数码显微镜显微镜类别物镜放大＋电子放大显微镜放大倍数100倍显微镜工作间距50-150mm相机分辨率1080P60帧相机信号输出HDMI输出＋USB输出LED可调光源LED光源显示屏5寸屏幕一体机使用说明采购须知