小型金属真容镀膜机 基本介绍 
 
 
 
- 基底尺寸：
 - 基底旋转：8转/分钟；
 - 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
 - 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
 - 泵：前级干泵，分子泵；
 
 
 
 小型金属真容镀膜机 性能特点 
 
 
 
Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
 - 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；
 - 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
 - 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
 
 
 
  
 
 
 
 
 
 
 小型金属真容镀膜机 技术参数 
 
 
 
 
  
衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；
 
  
保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果
 
 
 
 
 
 小型金属真容镀膜机 使用说明 
 

  质保一下 
 
 
  
 
 
 小型金属真容镀膜机 采购须知