腐蚀性气体质量流量计气体配比器基本介绍 
 

  采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性 
 
 
 腐蚀性气体质量流量计气体配比器性能特点 
 

   CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度 可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。 
 
 
 腐蚀性气体质量流量计气体配比器技术参数 
 

  CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准 
 
 
 腐蚀性气体质量流量计气体配比器使用说明 
 

  CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出 
 
 
 腐蚀性气体质量流量计气体配比器采购须知 
 

    具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的客户端使用软件。