小型溅射仪郑科探基本介绍 
 

  小型溅射仪郑科探KT-Z1650PVD   该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜 
 
 
 小型溅射仪郑科探性能特点 
 
 
 
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛，通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
 
 
 
 小型溅射仪郑科探技术参数 
 
 
 
小型溅射仪郑科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数；
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射电源
 
 
    
 
直流溅射电源
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 小型溅射仪郑科探使用说明 
 

    
 
 
 小型溅射仪郑科探采购须知