商标 | 晨立 |
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型号 | Cl |
规格 | Cl |
包装 | 木箱 |
产量 | 600 |
是否有现货 | 是 |
传热面的形状 | 特殊形式 |
种类 | 高频加热设备 |
型号 | Cl |
规格 | Cl |
商标 | 晨立 |
包装 | 木箱 |
用途: 主要用于各大高校、硅材料实验室、及微电子专业对半导体6寸及以下硅片的高温扩散、氧化(湿氧)、退火、烧结合金工艺的教学和实验工作。 1.1、工作温度:400-1300℃ 1.2、恒温区长度及精度: 300mm /±0.5℃(可选) 1.3、炉管数:一、二、三、四管(可选) 1.4、适应硅片尺寸: 6寸及向下兼容 1.5、送取片方式:自动或手动(可选) |