扩散炉系列
 
 
 

 
 　设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 　
 　主要技术指标： 　
 　 炉管数：1～4管 　
 　 配工艺管口径：Φ90～360　mm（3～12英寸） 　
 　 恒温区长度：760～1000　mm±1.0℃（300～800℃） 　　760～1000　         mm±0.5℃（800～1280℃） 　
 　 单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃） 　
                        　±0.5℃／24h（800～1280℃） 　
 　 气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、 氧合成点火器 　
 　 气体控制：浮子／质量流量计 　
 　 悬臂舟参数：速度：20～1000　mm／min 　
 　最大行程：2000　mm 　　定位精度：±1　mm 　　最大载荷：17　Kg 　
 　 超净工作台：净化等级：100级（万级厂房） 　
 　噪音：≤62dB（A） 　　振动：≤3μm　
 
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。