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ULVAC爱发科Ion Implanting System - 离子注入机

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产地: 日本

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上海瞻驰光电科技有限公司

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主营产品：: 研磨,抛光,划片,贴膜,撕膜,蒸发台,溅射台,CMP,干法刻蚀,干法去胶,离子注入,快速热退火

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- 产品参数 -

商标	Ulvac
型号	Ih-860dsic
规格	Ih-860dsic
包装	标准
是否有现货	否
认证	有
品牌	Ulvac
自动化程度	全自动
是否加工定制	是
电流	交流
型号	Ih-860dsic
规格	Ih-860dsic
商标	Ulvac
包装	标准

- 产品详情 -

　　应用领域：SiC　Power　Device

设备特点：

高温离子注入

能量：

350KeV（单价离子）

700KeV（双价离子）

多步注入

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