MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及    技术的发展都很有必要。MOCVD设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括结构组成和部分控制难点，并对该系统今后的发展陈述了自己的观点。廊坊康华过滤科技有限公司生产VEECO以及AIXTRON公司MOCVD设备尾气处理用颗粒过滤器。公司生产严格按照ISO9001质量管理体系，从原材料到成品层层把关，从而提升产品的质量。美国进口滤材保证过滤器的使用寿命以及对于后端真空泵及管路的清洁，而且在高温环境下可长期使用，不会产生燃烧等意外。生产供应美国VEECO，德国AIXTRON公司各型号MOCVD设备用过滤器，型号齐全，保证质量，可有效保证过滤精度及效率，从而达到保护设备以及环保的双重目的AIXTRONHEPA滤芯，AIXTRONexhaust滤芯，AIXTRONparticle滤芯，ThomasSwan滤芯，供应的VEECO公司MOCVD设备K-465，K465i，E-300机型的滤芯，光电设备滤芯G5除尘滤芯外延设备滤芯纤维折叠滤芯。LED设备用各类过滤器，型号齐全，质量保证，可有效保护设备  。采用304不锈钢材质、进口玻璃纤维，耐高温性好，抗酸碱。产品优势:1.价格优势2.  的过滤杂质能力，过滤精度高，使用寿命长。3.产品性能优势经客户验证和认可4.可根据客户要求设计，订做。（调整：尺寸，使用材料，整体构造等）为客户产品打造 合适的滤芯，确保各种过滤要求，达到  过滤效果。