型号：Tergeo-Plus一、Tergeo系列等离子清洗机应用等离子清洗机清除样品表面的污染物，清洗石英、蓝宝石及其它材料；清洗提高材料表面亲水性及疏水性，清洗生物芯片、微流控芯片，PDMS；表面活化：渲染表面的亲水性或疏水性，键合和沉积前的表面预处理表面聚合：沉积带官能分子团的聚合物，移植聚合物到活化后的材料表面；表面改性：在材料表面产生官能分子团，高分子材料表面修饰；去除光阻胶：产生表面活性功能组；去除表面残留微生物，医疗器械的消毒和杀菌；提高塑料，聚合物和合成材料粘附性；清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。二、Tergeo系列等离子清洗机的特点1、射频功率：RF功率小于0.5瓦特，极其细小或细微的样本2、操作方法：自动程序或工艺执行；手动操作。3、等离子传感器：双等离子体强度传感器，现场监控等离子体源和远程等离子体源。等离子体强度在LCD触摸屏上实时显示。4、  过程控制功能：压力传感器，温度传感器，在MFC气体流速米，双等离子体强度的传感器，自动阻抗匹配。三、技术参数1、控制系统1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤2、反应腔体1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱。2）腔体尺寸：内径：160毫米，外径：170毫米，深度：280毫米，壁厚：5毫米。3）前观测窗：前方开口，5毫米厚石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性；3、射频电源1）射频频率：13.56MHz2）射频功率：标配0~75W；可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调，自动阻抗匹配。3）射频输出可以工作在脉冲方式，脉冲比可以从1/255调到255/255（连续输出）。4、等离子源1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。2）电阻耦合电离方式。3）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。5、气体控制1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；2）质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；3）一路(Ventingandpurging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。4）自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。5）高性能气压计可以测量1e-4Torr到大气压之间的气压。6）6mm气体接口。6、真空系统1）KF25法兰接口用来连接真空泵。2）真空要求：抽速：>1.7m3/h；3）  气压：<=200mTorr.