高低温真空探针台基本介绍 
 

  高低温真空探针台KT-Z160T-RL，真空高低温探针台系统，使用国际上的温度控制系统和传感器，温度范围为77.15K至673.15K（-196摄氏度到400摄氏度），温度稳定性可达0.1K。 
 
 
 高低温真空探针台性能特点 
 
 
 
高低温真空探针台KT-Z160T-RL
 
 
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配高真空度的泵组，以满足测试要求。
 
 
     为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。
 
 
 
 高低温真空探针台技术参数 
 
 
 
高低温真空探针台KT-Z160T-RL参数
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
上盖开启
 
 
    
 
铰链侧开
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
内腔体尺寸
 
 
    
 
φ160x90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗尺寸
 
 
    
 
Φ70mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台尺寸
 
 
    
 
φ60mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗热台间距
 
 
    
 
75mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温度
 
 
    
 
﹣196~350℃
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温控误差
 
 
    
 
±1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
允许正压
 
 
    
 
≤0.1MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
真空抽气口
 
 
    
 
KF25真空法兰
 
 
   
 
   
 
    
 
气体进气口
 
 
    
 
3mm-6mm卡套接头
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
SMA转BNC X 4
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
钨针  
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
30mm    ±15mm
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
电子显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜类别
 
 
    
 
物镜
 
 
   
 
   
 
    
 
物镜倍数
 
 
    
 
0.7-4.5倍
 
 
   
 
   
 
    
 
工作间距
 
 
    
 
90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
相机
 
 
    
 
sony 高清
 
 
   
 
   
 
    
 
像素
 
 
    
 
1920※1080像素
 
 
   
 
   
 
    
 
图像接口
 
 
    
 
VGA
 
 
   
 
   
 
    
 
LED可调光源
 
 
    
 
有
 
 
   
 
   
 
    
 
显示屏
 
 
    
 
8寸
 
 
   
 
   
 
    
 
放大倍数
 
 
    
 
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 高低温真空探针台使用说明 
 

    
 
 
 高低温真空探针台采购须知