SC-100A旋转涂胶仪
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北京市
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北京博越致芯科技有限公司

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主营产品:
匀胶机,智能匀胶机,半导体设备,教学仪器
- 产品参数 -
型号 SC-100A
规格 兼容8英寸及以下基材
包装 纸质包装
产量 100
型号 SC-100A
规格 兼容8英寸及以下基材
包装 纸质包装
外形尺寸 280×360×240mm
- 产品详情 -

   的智能化设计、高配置、高稳定性机型。   PC控制系统, 的可操控性可编程设计。   5英吋人机界面,全中文操作系统, 方便操作。   适合多种材料匀胶、制版工艺。   广泛应用于微电子、光电子、通讯、微机械、材料科学及新能源等领域。   匀胶机主要构造:   —采用无刷伺服电机,全闭环数字编码器测速机构,实测整个过程马达速度。   —机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、 生锈,便于清洗。   —排风和抽气系统位于载片台底部(以利于排风效率和匀胶均一性)。   —透明可视密封盖可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有 味的散发。   —配有真空泵电源输出接口与抽气接口,由界面集中控制。   匀胶机主要性能指标:   1.机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)   2.旋涂程序:用户可通过PC界面设置和存储工艺参数, 可存储15组参数,支持多段速。   3.转动速度:0-5,000rpm   4.旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、减速时间可自由设置(0-20000ms)   5.马达转速稳定度±1rpm   6.测速精度<0.2rpm   7.工艺时间设定:0-9,999.9 sec/step 0.1精度   8.可镀膜尺寸5mm-200mm(8〞)   9.旋涂不均匀性:<±3%   10.支持基片厚度≤5mm   11.设备尺寸 11〞(280mm)W×14〞(360mm)D×9.4〞(240mm)H 其他配置   —匀胶腔室:内径Ф260mm,不锈钢材质、可视透明上盖   —抽气接口:Ф8mm快速接头,配Ф8mm透明抽气管   —样片托:标配1英寸一个,2英寸一个,其它规格可定制。   —真空泵:配100L/min无油真空泵一台。   —电源输入:AC220V/240V 50Hz   —整机功率:630W(真空泵230W 主机400W)   —机身重量:10Kg 

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