产品特点：
  闭管式扩散系统，有效降低生产成本，洁净、环保 
  石英舟采用软着陆送片，高可靠性 
  工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 
  采用悬臂送片器，操作方便、无摩擦污染等 
  具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
  控温精度高，温区控温稳定性好 
  关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性 
  高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命
 主要技术指标
  工作温度：400～1100℃
  有效口径：适应石英管外径Ф320mm
  装片数量：400片/管 
  工艺管数量：1～4管（可选择） 
  恒温区长度： 1100mm（可根据用户要求定制）
  恒温区精度：≤±1℃（600～1100℃）
  单点温度稳定性：≤±1℃/24h（600～1100℃）
  温度斜变能力： 最大可控升温速度：15℃/min(300～1300℃)
                  最大降温速度： 5℃/min (1300～900℃)
  实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度
  送片方式：采用悬臂送片器，进退舟速度5mm/min～1000mm/min连续可调
  净化台洁净度：100级