型号 | 4英寸 |
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规格 | 4英寸 |
包装 | Cassette |
加工定制 | 是 |
种类 | 化合物半导体 |
用途 | 电子电力器件 |
型号 | 4英寸 |
规格 | 4英寸 |
包装 | Cassette |
碳化硅晶片厂家恒迈瑞为国内外客户供应4H-P型碳化硅衬底,分为测试D级,研究R级与产品P级。目前国内主流碳化硅衬底为导电4H-N型掺杂氮,与4H-SI半绝缘型非掺杂,而缺乏掺杂铝的导电型碳化硅晶片. P型碳化硅衬底采用LPM液相法生长,具有低电阻、高掺杂浓度等优势,能满足n沟道SiC IGBT、GTO等高压双极型器件的制备需求,欢迎有需求的客户与我们联系。
SiC晶锭的切割是SiC衬 造过程中的关键步骤,它对衬底的表面质量、尺寸精度和成本控制具有决定性作用。切割工艺不仅决定了SiC衬底的表面粗糙度(Ra)、总厚度偏差(TTV)、翘曲度(BOW)和弯曲度(WARP)等关键参数,而且对衬底的最终品质、成品率和生产成本有着深远的影响。此外,切割质量还直接影响到后续的研磨、抛光工序的效率和成本。
目前,SiC晶锭切割技术的研究和发展已经取得了显著进展,主要的切割技术包括砂浆线切割、金刚线切割和激光剥离技术。其中,砂浆线切割因其成熟度和成本效益,已成为业界的主流选择,并在大规模生产中得到广泛应用。
砂浆线切割:这是一种传统的切割技术,通过使用含有磨料的线和砂浆来切割SiC晶锭。尽管这种方法成本较低,但其切割速度较慢,且可能在衬底表面留下较深的损伤层。
金刚线切割:金刚线切割技术使用金刚石颗粒作为磨料,通过高速旋转的线来切割SiC晶锭。这种方法的切割速度快,表面损伤层较浅,有助于提高衬底的质量和成品率。
激光剥离技术:这是一种新兴的切割技术,通过激光束的热效应来分离SiC晶锭。激光剥离技术可以提供非常 的切割,减少衬底的损伤,但目前成本相对较高,主要用于应用