MKS902系列真空计（紧凑型压电绝对压力传感器）HPS902系列压电型压力传感器是一个测量压力的压电传感器和一个集成电子控制电路的组合。902压电测量计是一个直读式  传感器，其压力测量与气体的种类无关。该传感器包括一个  的温度补偿模块，在很大的测量范围下有具有高精度。   传感器的替代方案紧凑型系统设计，将电路与传感器集成与一体由于传感器具有快速的、准确的和可重复性的压力测量，从而缩短了工艺周期时间。拥有清洁的、牢固的设计和不锈钢结构，因此传感器适合于环境严苛的工艺易于操作，具备模拟输出和数字通信功能由设定点继电器获得的工艺控制具有快速的响应时间。液晶读数显示器可用于902系列。显示器操作是通过0至10的线性模拟输出来进行的。读数显示器的宽度和深度与传感器一致，仅仅1.4英寸（35mm）的高度。读数显示器通过D-sub连接器与传感器相连。测量范围：0.1至1000Torr精度（10-1000Torr）：±1%读数重复性：±0.3%读数电源要求：9至30VDC<1.2W