970系列是高集成、   、广用途，它运用了不同的传感器技术，如冷阴极、MlcroPirani微皮拉尼、Piezo技术。因为集成了如此多的技术，所以能提供很宽的量测范围，从常压到10-8Torr。除了尺寸小，量测范围广，成本低以外，970系列可以提供数字和自主模拟通讯方式。971冷阴极真空传感器：测量范围：1X10-8至5X10-3Torr设定范围：1X10-8至5X10-3Torr精度：5X10-8至10-3Torr±30%读数重复性：5X10-8至10-3Torr±30%读数%电源要求：9-30VDC2W972冷阴极/皮拉尼复合真空传感器：测量范围：1X10-8至大气压设定范围：1X10-8至大气压精度：5X10-8至10-3Torr±30%读数10-3至100Torr±5%读数重复性：5X10-8至10-3Torr±30%读数%10-3至100Torr±2%读数电源要求：9-30VDC2W974冷阴极/皮拉尼/压电复合真空传感器：测量范围：1X10-8至1500Torr-760至+760Torr设定范围：1X10-8至1000Torr-760至+100Torr精度：5X10-8至10-3Torr±30%读数10-3至50Torr±5%读数50至1000Torr±1%读数重复性：5X10-8至10-3Torr±30%读数%10-3至50Torr±2%读数50至1000Torr±1%读数电源要求：9-30VDC2W