PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。
 
该型号PECVD为单温区系列  款，综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。而且控制部分采用了维意自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统，使得操作 加简便，功能 加强大。
 
主要特点：
 
 
 
 AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控
 
 
制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协
 
调控制；
 
2. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
 
3. 智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
 
4. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，
 
自动运行；
 
 
 
 炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可
 
 
距离；
 
6. 整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
 
技 术 参 数
 
 
 
 
  
 
   
 
加热炉部分
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
炉膛模式
 
 
   
 
开启式炉膛
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
显示模式
 
 
   
 
7英寸触摸屏
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
极限温度
 
 
   
 
1200℃
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
工作温度
 
 
   
 
≤1150℃
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
升温速率
 
 
   
 
建议10℃/Min   Max：30℃/Min
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
加热温区
 
 
   
 
单温区/双温区
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
单温区长度
 
 
   
 
200 mm
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
炉管规格
 
 
   
 
60*1150 mm
 
 
  
 
  
 
   
 
9
 
 
   
 
控温精度
 
 
   
 
±1℃
 
 
  
 
  
 
   
 
10
 
 
   
 
密封方式
 
 
   
 
快速法兰密封
 
 
  
 
  
 
   
 
11
 
 
   
 
温度曲线
 
 
   
 
30段"时间—温度曲线"任意可设
 
 
  
 
  
 
   
 
12
 
 
   
 
预存曲线
 
 
   
 
可预存15条温度曲线
 
 
  
 
  
 
   
 
13
 
 
   
 
超温报警
 
 
   
 
有
 
 
  
 
  
 
   
 
14
 
 
   
 
过流保护
 
 
   
 
有
 
 
  
 
  
 
   
 
15
 
 
   
 
断偶提示
 
 
   
 
有
 
 
  
 
  
 
   
 
16
 
 
   
 
测温元件
 
 
   
 
K型热电偶
 
 
  
 
  
 
   
 
17
 
 
   
 
炉膛材料
 
 
   
 
氧化铝纤维
 
 
  
 
  
 
   
 
18
 
 
   
 
外形尺寸
 
 
   
 
800*560*1500MM
 
 
  
 
  
 
   
 
 射频电源功率
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
信号频率
 
 
   
 
13.56 MHz±0.005%
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
功率输出范围
 
 
   
 
5W-300W
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
功率稳定度
 
 
   
 
±0.1%
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
谐波分量
 
 
   
 
≤-50dbc
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
供电电压
 
 
   
 
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
整机效率
 
 
   
 
>=70%
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
功率因素
 
 
   
 
>=90%
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
冷却方式
 
 
   
 
强制风冷
 
 
  
 
  
 
   
 
真空部分
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
工作电电压
 
 
   
 
220V±10%  50~60HZ
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
功率
 
 
   
 
500W
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
抽气速率
 
 
   
 
6L/s
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
进气口口径
 
 
   
 
KF25
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
排气口口径
 
 
   
 
KF25
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
转速
 
 
   
 
1450rpm
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
噪音
 
 
   
 
55dB
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
极限真空
 
 
   
 
4X10-2Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
 气路系统（标配2路普通质量流量计，   的可选配）
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
1,2气路采用DB07K系列
 
 
  
 
  
 
   
 
准确度：±1.5%
 
 
  
 
  
 
   
 
重复精度：±0.2%
 
 
  
 
  
 
   
 
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
 
 
  
 
  
 
   
 
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
3路采用高精度CS200系列
 
 
  
 
  
 
   
 
准确度：±0.35%FS  ±1.0%SP
 
 
  
 
  
 
   
 
线性：±0.5%FS
 
 
  
 
  
 
   
 
重复精度：±0.2%FS
 
 
  
 
  
 
   
 
响应时间：气特性：1Sec
 
 
  
 
  
 
   
 
 整机系统特色
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
正压测量
 
 
   
 
-100Kpa---100Kpa
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
真空测量
 
 
   
 
10-2Pa ～100Kpa（支持Ar测量）
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
正压保护
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
压力恒定
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
智能气路
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
气路定时
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
射频工作时间设定
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
移动速度调节
 
 
   
 
支持
 
 
  
 
  
 
   
 
9
 
 
   
 
系统真空度
 
 
   
 
4.8×10-1Pa