多功能快速退火炉-维意真空基本介绍 
 
 
 
快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鉴了国际  制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。
 
 

 应用领域
 
 
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
 
 
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
 
 
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
 
 
Ø 硅化 (Silicidation);
 
 
Ø 扩散 (Diffusion);
 
 
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
 
 
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
 
 
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
 
 
    
 主要特点
 
 
Ø 极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；
 
 
Ø 双层炉管结构，气氛与样品接触 均匀；
 
 
Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格（选配）；
 
 
技术参数：
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
产品名称
 
 
    
 
RTP快速升温炉
 
 
   
 
   
 
    
 
产品型号
 
 
    
 
RTP1100
 
 
   
 
   
 
    
 
额定温度
 
 
    
 
1100℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温场均匀性
 
 
    
 
±2℃
 
 
   
 
   
 
    
 
炉膛升温速率
 
 
    
 
≥100℃/S
 
 
   
 
   
 
    
 
 快降温速率
 
 
    
 
≥100℃/S
 
 
   
 
   
 
    
 
操控系统
 
 
    
 
智能AIO操作系统
 
 
   
 
   
 
    
 
操作界面
 
 
    
 
7英寸触摸屏
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
短波红外线加热
 
 
   
 
   
 
    
 
加热腔体结构
 
 
    
 
双层石英管
 
 
   
 
   
 
    
 
外管直径
 
 
    
 
100mm
 
 
   
 
   
 
    
 
内管直径
 
 
    
 
80mm
 
 
   
 
   
 
    
 
气体保护方式
 
 
    
 
外管进气，内管出气
 
 
   
 
   
 
    
 
超温保护
 
 
    
 
温度出现过高时切断主回路
 
 
   
 
   
 
    
 
式样有效空间
 
 
    
 
70*100mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空系统
 
 
    
 
8L/S双级联真空系统（选配）
 
 
   
 
   
 
    
 
整机真空度
 
 
    
 
3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
真空启动方式
 
 
    
 
根据程序设置自动启停
 
 
   
 
   
 
    
 
抽气端口尺寸
 
 
    
 
KF16
 
 
   
 
   
 
    
 
供气口尺寸
 
 
    
 
1/4英寸双卡套
 
 
   
 
   
 
    
 
法兰冷却方式
 
 
    
 
水冷（短时间无需水冷）（可选配水冷机）
 
 
   
 
   
 
    
 
真空显示
 
 
    
 
真空压力表（可选配数显真空计）
 
 
   
 
   
 
    
 
上位机操控
 
 
    
 
基于安卓系统APP（选配）
 
 
   
 
   
 
    
 
数据导出方式
 
 
    
 
APP导出Excel表格（选配）
 
 
   
 
   
 
    
 
额定功率
 
 
    
 
12kw
 
 
   
 
   
 
    
 
外形尺寸
 
 
    
 
950*500*560mm
 
 
   
 
   
 
    
 
重量
 
 
    
 
50kg
 
 
   
 
   
 
    
 
配件
 
 
    
 
管堵2支，法兰水冷套1支，耐温手套1双，坩埚钳1把，说明书1本。
 
 
   
 
  
 
 
 
 

 
 
 
 
 多功能快速退火炉-维意真空性能特点 
 

    
 
 
 多功能快速退火炉-维意真空技术参数 
 

    
 
 
 多功能快速退火炉-维意真空使用说明 
 

    
 
 
 多功能快速退火炉-维意真空采购须知