小型快速退火炉基本介绍 
 
 
 
此款小型快速退火炉是集成仪 巧妙的结构设计和  的加热方式与一体，使得体积和功率都大幅减小的同时，升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空，满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。
 
 
 
 
 
应用范围：
 
 
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
 
 
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
 
 
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
 
 
Ø 硅化 (Silicidation);
 
 
Ø 扩散 (Diffusion);
 
 
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
 
 
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
 
 
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
 
 

 
 
 主要特点：
 
 
Ø 极速升温20℃/S，极速降温20℃/S；
 
 
Ø 控温稳定，恒温精度≤1℃
 
 
Ø 体积小巧，使用功率只有1kw；
 
 
Ø   光线反射效率，无需炉膛保温；
 
 

 
 技术参数：
 
 
 
  
 
   
 
    
 
  产品名称
 
 
    
 
  mini快速退火炉
 
 
   
 
   
 
    
 
  产品型号
 
 
    
 
  RTP1000S
 
 
   
 
   
 
    
 
  极限温度
 
 
    
 
  1000℃
 
 
   
 
   
 
    
 
额定温度
 
 
    
 
1000℃
 
 
   
 
   
 
    
 
控温精度
 
 
    
 
±1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
 快升温速率
 
 
    
 
20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)
 
 
   
 
   
 
    
 
 快降温速率
 
 
    
 
随炉冷却75℃/min  物料台拉出降温800℃/min
 
 
   
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
智能PID
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
短波红外线加热
 
 
   
 
   
 
    
 
加热腔体结构
 
 
    
 
石英管
 
 
   
 
   
 
    
 
样品冷却
 
 
    
 
自然冷却或通入冷却气体
 
 
   
 
   
 
    
 
冷却气体调节
 
 
    
 
浮子流量计(100～1000ml/min)（选配）
 
 
   
 
   
 
    
 
超温保护
 
 
    
 
温度出现过高时切断主回路
 
 
   
 
   
 
    
 
  恒温区尺寸
 
 
    
 
  35mm
 
 
   
 
   
 
    
 
载料体尺寸
 
 
    
 
30*25mm
 
 
   
 
   
 
    
 
传感器类型
 
 
    
 
K型
 
 
   
 
   
 
    
 
  真空系统
 
 
    
 
  1L/S 双级联真空系统 CHY-4C（选配）
 
 
   
 
   
 
    
 
  整机真空度
 
 
    
 
  3Pa（选配CHY-4C真空泵）
 
 
   
 
   
 
    
 
  抽气端口尺寸
 
 
    
 
  KF16
 
 
   
 
   
 
    
 
  供气口尺寸
 
 
    
 
  1/4英寸双卡套
 
 
   
 
   
 
    
 
  额定功率
 
 
    
 
  1.5kw
 
 
   
 
   
 
    
 
  额定电压
 
 
    
 
  AC220V,50Hz
 
 
   
 
   
 
    
 
  重量
 
 
    
 
  15kg
 
 
   
 
   
 
    
 
  配件
 
 
    
 
  坩埚钳1把，说明书1本。
 
 
   
 
   
 
    
 
外形尺寸
 
 
    
 
  610x400x410（长*宽*高）
 
 
   
 
  
 
 
 
 

 
 
 
 
 小型快速退火炉性能特点 
 

    
 
 
 小型快速退火炉技术参数 
 

    
 
 
 小型快速退火炉使用说明 
 

    
 
 
 小型快速退火炉采购须知