探针台(高温、)维意真空
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供货总量
5件
产地
北京市
发货期
未填写
北京维意真空技术应用有限责任公司

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主营产品:
ALD原子层沉积镀膜设备,PECVD设备,磁控溅射镀膜机,真空腔体,真空配件,管式炉,马弗炉,热压炉,PLD激光脉冲沉积镀膜设备,探针台,低空环境模拟器,ALD/MO源瓶
- 产品参数 -
是否有现货
- 产品详情 -
基本介绍
源瓶特点:
1、所有管件采用316L不锈钢,内部经400目机械抛光和电化学抛光,
Ra≦0.25微米;
2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK
隔膜阀供选择;
3、密封垫片选用纯银镀镍垫片;
4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛装化学品纯度≧99.9995;
6、总残余元素量≦50PPb;
7、坠落试验,通过国家商检部门检测;
8、介质,TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
9、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的
交叉清扫处理等;
10、可提供非标定做。
 
性能特点
 
技术参数
 
使用说明
 
采购须知
 
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