高真空探针台--维意真空  发布
 
高真空探针台--维意真空基本介绍
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
探针台
 
 
   
 
   
 
    
 
特点
 
 
    
 
类型
 
 
    
 
规格
 
 
   
 
   
 
    
 
*紧凑的结构，轻巧的重量；
 
*结构设计合理，经济实用；
 
*探针操作灵敏，直线度高；
 
*便于维护；
 
 
    
 
Chuck
 
（卡盘）
 
 
    
 
尺寸：4英寸，圆形
 
 
   
 
   
 
    
 
材质：不绣钢（可升级镀金）
 
 
   
 
   
 
    
 
旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°
 
 
   
 
   
 
    
 
X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升级为1um精度）
 
 
   
 
   
 
    
 
吸附孔：中心孔径最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，  能够吸住尺寸为4"X4"
 
 
   
 
   
 
    
 
整体规格
 
 
    
 
U型设计，可放置4个  探针座，中端  8个探针座
 
 
   
 
   
 
    
 
平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附 牢固
 
 
   
 
   
 
    
 
尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜)
 
 
   
 
   
 
    
 
重量：50KG（带显微镜）
 
 
   
 
   
 
    
 
选配：
 
 *  Z轴升降行程：5mm，卡盘快速升降，方便更换样品，不会碰触到其他已调试好器件；
 
 * 卡盘镀金；
 
 *  搭配射频探针；
 
 *  视频CCD系统；
 
 *  防震桌；
 
 *  屏蔽箱；
 
 *  加热系统；
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 

  性能特点 
 

    
 

  技术参数 
 

    
 

  使用说明 
 

    
 

  采购须知