规格 | 供货量(台) |
空气压力0.5MPa以上 | 2 |
重量:约11200kg | 3 |
商标 | Otfc-1800 |
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型号 | Otfc-1800 |
规格 | 5700mm(W)×7700mm(D)× |
包装 | 木箱 |
产量 | 11000 |
是否有现货 | 是 |
机械类型 | 镀膜机械 |
自动化程度 | 全自动 |
新旧程度 | 9成新 |
作用对象 | 玻璃 金属 PVC |
控制形式 | 程序控制 |
型号 | Otfc-1800 |
规格 | 5700mm(W)×7700mm(D)× |
商标 | Otfc-1800 |
包装 | 木箱 |
工件架 | 1600 |
排气时间 | 20分(大气压~1.3×10-3 Pa) |
工件转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
离子源 | 23cmRF |
水流量 | 180升/分以上 |
波长范围 | 350nm to 1100nm |
基板温度 | 350℃ |
电源 | 200V, 50/60Hz |
达到压力 | 7.0×10-5 Pa 以下 |
真空室 | φ1800mm×1920mm (H) |
双电子束蒸发镀膜机 OTFC-1800CBI/DBI
机械特点:
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子 ,多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
设备尺寸:
设备型号 OTFC-1800CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计 XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源 电子 2套
离子源 23cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
机械性能:
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下
排气时间 20分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度 :350℃
设备尺寸 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作条件:
电源 3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA
水流量 180升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约11200kg