小型真空高低温探针台基本介绍 
 

  小型真空高低温探针台，高低温真空探针台，高温400℃低温-196℃，10微米探针尖，移动滑块精度≤0.01mm 
 
 
 小型真空高低温探针台性能特点 
 
 
 
小型真空高低温探针台，高低温真空探针台，高温400℃低温-196℃，10微米探针尖，移动滑块精度≤0.01mm
 
 
高低温真空探针台，能够为测试样品提供高真空和极 . 端高温/低温的测试环境，非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试，应用方向有：真空&极  .  端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试；宽温区材料或器件的IV/CV特性测试；LD/LED/PD测试；光谱特性测试；霍尔效应测量；可变磁场环境中电磁输运特性测试；微波射频测试；瞬态光电流响应测试；拉曼-瞬态荧光寿命成像；电-光效应测试；超导测试试验等。
 
 
 
 
 
产品特点
 
 
 
 
 
 高真空度，真空度  1×10-3 Pa
 
 
 
 
 
 高精度温控系统，自动冷媒流量控制，-196℃到400℃温度区间内精确控制样品台温度
 
 
 
 
 
 防辐射屏设计，保证样品温度均匀
 
 
 
 
 
 兼容金相显微镜
 
 
 
 
 
 采用液氮或氦气压缩机制冷
 
 
 
 
 
小型真空高低温探针台参数
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
类型
 
 
    
 
加热型350℃   或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体内尺寸
 
 
    
 
φ90x40mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体上视窗尺寸
 
 
    
 
Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体抽气口
 
 
    
 
KF16
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体进气口
 
 
    
 
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体出气口
 
 
    
 
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体正压
 
 
    
 
≤0.05MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体真空度
 
 
    
 
机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台尺寸
 
 
    
 
26X26mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台-视窗 距离
 
 
    
 
30mm（可选凹视窗间距15mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温传感器
 
 
    
 
A    级PT100铂电阻
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台温度
 
 
    
 
室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温误差
 
 
    
 
±0.2℃
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台变温速率
 
 
    
 
高温10℃/min   低温5℃/min  最大值
 
 
   
 
   
 
    
 
温控仪
 
 
   
 
   
 
    
 
温度显示
 
 
    
 
7寸人机界面
 
 
   
 
   
 
    
 
温控类型
 
 
    
 
标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
 
 
   
 
   
 
    
 
温度分辨率
 
 
    
 
0.1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温控精度
 
 
    
 
±0.5℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温度信号输入类型
 
 
    
 
PT100热电阻 （可选 K    S  B型热电偶）
 
 
   
 
   
 
    
 
温控输出
 
 
    
 
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
 
 
   
 
   
 
    
 
辅助功能
 
 
    
 
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线
 
 
   
 
   
 
    
 
探针
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针（可定做6探针）
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
镀金钨针
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
12mm    ±6mm
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≤5μm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴移动行程
 
 
    
 
12mm    ±6mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴控制精度
 
 
    
 
≤5μm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
12mm    ±6mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤5μm
 
 
   
 
   
 
    
 
数码显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜类别
 
 
    
 
物镜放大+电子放大
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜放大倍数
 
 
    
 
100倍
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜工作间距
 
 
    
 
50-150mm
 
 
   
 
   
 
    
 
相机分辨率
 
 
    
 
1080P  60帧  
 
 
   
 
   
 
    
 
相机信号输出
 
 
    
 
HDMI输出+USB输出
 
 
   
 
   
 
    
 
LED可调光源
 
 
    
 
LED光源
 
 
   
 
   
 
    
 
显示屏
 
 
    
 
5寸 屏幕一体机
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 小型真空高低温探针台技术参数 
 

    
 
 
 小型真空高低温探针台使用说明 
 

    
 
 
 小型真空高低温探针台采购须知