微型高温探针台基本介绍 
 

  微型高温探针台KT-Z400MR4T，0-400℃温控，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量。 
 
 
 微型高温探针台性能特点 
 
 
 
微型高温探针台KT-Z400MR4T
 
 
系列微型真空探针台是一款专门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测 量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估，是实验室测量薄膜材料电学性能工具，广泛用于高校、科研、  航空、  院所等领域。
 
 
 
 
 
主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
 
 
 
 
 
为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。
 
 
 
 微型高温探针台技术参数 
 
 
 
微型高温探针台KT-Z400MR4T参数
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
类型
 
 
    
 
高温型室温到350℃
 
 
    
 
高低温型 室温到350℃  室温到-196℃
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢 6061铝合金 可选
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体内尺寸
 
 
    
 
127mmX57mmX20mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体外尺寸
 
 
    
 
150mmX80mmX32mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体重量
 
 
    
 
不锈钢材质 约1.5KG     铝合金材质 约0.5KG
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体上视窗尺寸
 
 
    
 
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体抽气口
 
 
    
 
KF16法兰（其余接口规格可转接）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体真空测量口
 
 
    
 
KF16法兰（其余接口规格可转接）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体进气口
 
 
    
 
6mm快拧 或 6mm快插
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体冷却方式
 
 
    
 
腔体水冷+上盖气冷
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体水冷接口
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体正压
 
 
    
 
≤0.05MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体真空度
 
 
    
 
机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台材质
 
 
    
 
不锈钢 银铜合金 纯银块
 
 
    
 
银铜合金 纯银块
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台尺寸
 
 
    
 
26x26mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台加热方式
 
 
    
 
电阻加热
 
 
    
 
电阻加热 液氮制冷
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台-视窗 距离
 
 
    
 
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温传感器
 
 
    
 
PT100型热电阻
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台温度
 
 
    
 
室温到400℃
 
 
    
 
室温到400℃  室温到-196℃
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温误差
 
 
    
 
±0.5℃
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台升温速率
 
 
    
 
高温100℃/min 最大值   低温7℃/min
 
 
   
 
   
 
    
 
温控仪
 
 
   
 
   
 
    
 
温度显示
 
 
    
 
7寸人机界面
 
 
   
 
   
 
    
 
温控类型
 
 
    
 
标准PID温控 +自整定
 
 
   
 
   
 
    
 
温度分辨率
 
 
    
 
0.1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温控精度
 
 
    
 
±0.5℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温度信号输入类型
 
 
    
 
PT100 （可选K  S  B型热电偶）
 
 
   
 
   
 
    
 
温控输出
 
 
    
 
直流线性电源加热
 
 
    
 
直流线性电源加热+液氮流速控制器
 
 
   
 
   
 
    
 
辅助功能
 
 
    
 
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
 
 
   
 
   
 
    
 
温控器尺寸
 
 
    
 
32cmX170cmX380cm
 
 
   
 
   
 
    
 
温控器重量
 
 
    
 
约5.6KG
 
 
   
 
   
 
    
 
探针
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针（可扩展5探针）
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
镀金钨针 （其他材质可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
手动探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
20mm    ±10mm（需手动推动滑台）
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≥500μm
 
 
   
 
   
 
    
 
R轴移动行程
 
 
    
 
120°    ±60°（需手动旋转探针杆）
 
 
   
 
   
 
    
 
R轴控制精度
 
 
    
 
≥500μm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
2mm    ±1mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 微型高温探针台使用说明 
 

    
 
 
 微型高温探针台采购须知