小型气敏探针台基本介绍 
 

  小型气敏探针台KT-Z4019MRL4T，4探针手动调节，纯银加热台，-196℃至350℃（温控  ±0.5） 
 
 
 小型气敏探针台性能特点 
 
 
 小型气敏探针台KT-Z4019MRL4T探针台用途： 手动探针台又称探针测试台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途 探针台系统组成： 探针台台体+显微镜+探针座+探针夹具+探针+测试源表（请注意无测试源表就构成不了系统，探针台只是提供一个测试平台，一切数据的测量都需要依靠测试源表来完成） 探针台测试环境： 可提供的测试环境有：常温、高温、高低温测试、真空高低温、高压、辐射以及磁场环境。 
 
 
 小型气敏探针台技术参数 
 
 
 
小型气敏探针台KT-Z4019MRL4T参数
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
类型
 
 
    
 
高温型室温到350℃
 
 
    
 
高低温型 室温到350℃  室温到-196℃
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢 6061铝合金 可选
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体内尺寸
 
 
    
 
127mmX57mmX20mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体外尺寸
 
 
    
 
150mmX80mmX32mm
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体重量
 
 
    
 
不锈钢材质 约1.5KG     铝合金材质 约0.5KG
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体上视窗尺寸
 
 
    
 
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体抽气口
 
 
    
 
KF16法兰（其余接口规格可转接）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体真空测量口
 
 
    
 
KF16法兰（其余接口规格可转接）
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体进气口
 
 
    
 
6mm快拧 或 6mm快插
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体冷却方式
 
 
    
 
腔体水冷+上盖气冷
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体水冷接口
 
 
    
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体正压
 
 
    
 
≤0.05MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体真空度
 
 
    
 
机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台材质
 
 
    
 
不锈钢 银铜合金 纯银块
 
 
    
 
银铜合金 纯银块
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台尺寸
 
 
    
 
26x26mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台加热方式
 
 
    
 
电阻加热
 
 
    
 
电阻加热 液氮制冷
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台-视窗 距离
 
 
    
 
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温传感器
 
 
    
 
PT100型热电阻
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台温度
 
 
    
 
室温到400℃
 
 
    
 
室温到400℃  室温到-196℃
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台测温误差
 
 
    
 
±0.5℃
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台升温速率
 
 
    
 
高温100℃/min 最大值   低温7℃/min
 
 
   
 
   
 
    
 
温控仪
 
 
   
 
   
 
    
 
温度显示
 
 
    
 
7寸人机界面
 
 
   
 
   
 
    
 
温控类型
 
 
    
 
标准PID温控 +自整定
 
 
   
 
   
 
    
 
温度分辨率
 
 
    
 
0.1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温控精度
 
 
    
 
±0.5℃
 
 
   
 
   
 
    
 
温度信号输入类型
 
 
    
 
PT100 （可选K  S  B型热电偶）
 
 
   
 
   
 
    
 
温控输出
 
 
    
 
直流线性电源加热
 
 
    
 
直流线性电源加热+液氮流速控制器
 
 
   
 
   
 
    
 
辅助功能
 
 
    
 
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
 
 
   
 
   
 
    
 
温控器尺寸
 
 
    
 
32cmX170cmX380cm
 
 
   
 
   
 
    
 
温控器重量
 
 
    
 
约5.6KG
 
 
   
 
   
 
    
 
探针
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针（可扩展5探针）
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
镀金钨针 （其他材质可选）
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
手动探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
20mm    ±10mm（需手动推动滑台）
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≥500μm
 
 
   
 
   
 
    
 
R轴移动行程
 
 
    
 
120°    ±60°（需手动旋转探针杆）
 
 
   
 
   
 
    
 
R轴控制精度
 
 
    
 
≥500μm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
2mm    ±1mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 小型气敏探针台使用说明 
 

    
 
 
 小型气敏探针台采购须知