高温真空探针台基本介绍 
 

  高温真空探针台KT-Z1604TZ，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃。以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。 
 
 
 高温真空探针台性能特点 
 
 
 
高温真空探针台KT-Z1604TZ
 
 
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
 
 
 
 
 
高低温真空探针台应用：
 
 
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空  等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
 
 
 
 高温真空探针台技术参数 
 
 
 
高温真空探针台KT-Z1604TZ参数
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
真空腔体
 
 
   
 
   
 
    
 
腔体材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
上盖开启
 
 
    
 
铰链侧开
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台材质
 
 
    
 
304不锈钢
 
 
   
 
   
 
    
 
内腔体尺寸
 
 
    
 
φ160x90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗尺寸
 
 
    
 
Φ70mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台尺寸
 
 
    
 
φ60mm
 
 
   
 
   
 
    
 
观察窗热台间距
 
 
    
 
75mm
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温度
 
 
    
 
﹣196~350℃
 
 
   
 
   
 
    
 
加热台温控误差
 
 
    
 
±1℃
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
允许正压
 
 
    
 
≤0.1MPa
 
 
   
 
   
 
    
 
真空抽气口
 
 
    
 
KF25真空法兰
 
 
   
 
   
 
    
 
气体进气口
 
 
    
 
3mm-6mm卡套接头
 
 
   
 
   
 
    
 
电信号接头
 
 
    
 
SMA转BNC X 4
 
 
   
 
   
 
    
 
电学性能
 
 
    
 
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
 
 
   
 
   
 
    
 
探针数量
 
 
    
 
4探针
 
 
   
 
   
 
    
 
探针材质
 
 
    
 
钨针  
 
 
   
 
   
 
    
 
探针尖
 
 
    
 
10μm
 
 
   
 
   
 
    
 
探针移动平台
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴移动行程
 
 
    
 
30mm    ±15mm
 
 
   
 
   
 
    
 
X轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Y轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴移动行程
 
 
    
 
13mm    ±12.5mm
 
 
   
 
   
 
    
 
Z轴控制精度
 
 
    
 
≤0.01mm
 
 
   
 
   
 
    
 
电子显微镜
 
 
   
 
   
 
    
 
显微镜类别
 
 
    
 
物镜
 
 
   
 
   
 
    
 
物镜倍数
 
 
    
 
0.7-4.5倍
 
 
   
 
   
 
    
 
工作间距
 
 
    
 
90mm
 
 
   
 
   
 
    
 
相机
 
 
    
 
sony 高清
 
 
   
 
   
 
    
 
像素
 
 
    
 
1920※1080像素
 
 
   
 
   
 
    
 
图像接口
 
 
    
 
VGA
 
 
   
 
   
 
    
 
LED可调光源
 
 
    
 
有
 
 
   
 
   
 
    
 
显示屏
 
 
    
 
8寸
 
 
   
 
   
 
    
 
放大倍数
 
 
    
 
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 高温真空探针台使用说明 
 

    
 
 
 高温真空探针台采购须知