EVG 热压印
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北京市
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北京亚科晨旭科技有限公司

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主营产品:
整套半导体设备,整套微组装设备,LTCC设备,电装SMT设备
- 产品参数 -
商标 Evg 520he 热压印系统
型号 Evg 520he 热压印系统
规格 Evg 520he 热压印系统
包装 Evg 520he 热压印系统
别名 Evg 520he 热压印系统
是否有现货
品牌 Evg 520he 热压印系统
用途 Evg 520he 热压印系统
自动化程度 半自动
是否加工定制
电流 交流
型号 Evg 520he 热压印系统
规格 Evg 520he 热压印系统
商标 Evg 520he 热压印系统
包装 Evg 520he 热压印系统
- 产品详情 -
EVG 520HE 热压印系统基本介绍

EVG®520 HE  Hot Embossing System

EVG®520HE   压印系统

 

经通用生产验证的热压花系统,可满足 要求

 

技术数据

EVG520 HE半自动热压花系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。 EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径最大为200 mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压花系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压花的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。

 

 

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压花和纳米压印应用

自动化压花工艺

EVG专有的独立对准工艺,用于光学对准的压印和压印

气动压花选项

软件控制的流程执行

 

 

 

 

 

 

 

 

技术数据

加热器尺寸150毫米200毫米

基板尺寸150毫米200毫米

基板尺寸单芯片100毫米

 

接触力102060100 kN

 

最高温度:标准:350°C;可选:550°C

粘合卡盘系统/对准系统150毫米加热器:EVG®610EVG®620EVG®6200

200毫米加热器:EVG®6200MBA300SmartView®NT

真空:标准:0.1毫巴      可选:0.00001 mbar

 

EVG 520HE 热压印系统性能特点
 
EVG 520HE 热压印系统技术参数
 
EVG 520HE 热压印系统使用说明
 
EVG 520HE 热压印系统采购须知
 
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