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射频离子源 射频电源基本介绍 完善的射频和离子源控制系统;快速达到放电稳定状态(10s以内);中和器快速稳定(3s以内);在导轨上移动,移动距离大于3米;法兰安装方便;配射频中和器。 射频离子源 射频电源性能特点 射频离子源 射频电源技术参数 射频离子源 射频电源使用说明 射频离子源 射频电源采购须知
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