13.56MHz射频电源, 调频
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产地
天津市
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天津吉兆源科技有限公司

身份认证
主营产品:
射频电源,直流电源,射频离子源,ESC静电卡盘,自动匹配器,双频匹配器
- 产品参数 -
商标 射频电源
型号 射频电源
是否有现货
类型 其它
用途 工业用
型号 射频电源
商标 射频电源
输出阻抗 50ω
输入电流 5A
面板尺寸 480X89mm
冷却方式 风冷
输入电压 AC180-250V
输出频率 13.56MHz
工作稳定度 ≤±0.5%
频率信号 标准正弦波
- 产品详情 -
13.56MHz射频电源, 调频 基本介绍
应用于等离子体真空系统,具有高可靠性的电源
40KHz中频电源替代AEPEII高性能输出79234884
13.56MHz射频电源, 调频 性能特点
该电源输出功率可达500W到1250W,频率13.56MHz,标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。电源采用大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数,同时还可以显示匹配器的运行参数并且通过电源面板可操作射频匹配器。
13.56MHz射频电源, 调频 技术参数
 
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源,该系统可应用于半导体工业。应用对象包括:刻蚀、RIE、平行板、ICP、磁控溅射、CVD、PVD、等离子清洗和PECVD等系统。
13.56MHz射频电源, 调频 使用说明
 
13.56MHz射频电源, 调频 采购须知
 
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