901P系列真空计（传输腔LLT专用的MlcroPirani/Piezo差压式真空传感器）有CE标记的901P系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器和Pirani传感器的组合，它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态，而传统Pirani测量计的响应时间较慢，会对它造成损坏。当真空锁处于大气压时，要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS的901P系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计（MlcroPirani）和一个常压开关（压电），形成一个集成的，紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力传感器，它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作，这样就能保护真空锁的阀门会在  时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为设备设计人员提供了  的灵活性。901P系列真空计主要参数：测量范围：  1.0*10-5Torr至1500Torr差分-760至+760Torr设定范围：5.0*10-4Torr至1000Torr差分-760至+100Torr精度：①微皮拉尼5x10-4至1X10-3Torr±10%读数1x10-3至100Torr±5%读数100Torr至大气压±25%读数②压差传感器-10至+10Torr±10%读数-100至-10Torr±8%读数-760至-100Torr±1%读数+10to100Torr±5%读数重复性：①微皮拉尼1x10-3至100Torr±2%读数②压差传感器-760至+10Torr±1%读数零点稳定性：±0.1%满量程(F.S.=760Torr)电源要求：9to30VDC,<1.2W